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作者:王志华 -- 半导体国际 - 中国半导体制造业的技术权威网站 2007-10-16

原文:http://www.sichinamag.com/article/html/2007-10/20071011084558.htm
  成立于2001年的北京华林伟业有限公司是一家专注于半导体湿法清洗腐蚀设备的本土供应商。在中国大陆半导体产业快速成长的初期进入清洗领域,华林伟业可谓选准了目标和时机,但同时也面临国内外同业者的巨大竞争压力。

  据华林伟业有限公司总经理徐竹林介绍,目前公司主要从事半导体湿法清洗和腐蚀设备的研发和制造,产品包括:微电子清洗设备、石英管清洗机、硅晶片清洗机、晶/硅片腐蚀机、显影机、氮气存储柜、兆声波清洗机、单硅片清洗机、硅片甩干机、边缘腐蚀机、RCA湿法清洗机等;具有2到12寸硅片清洗机的设计和应用开发能力,自主研发的立式石英管清洗机和8自动硅片去胶清洗机已获国家专利。另外,华林伟业的清洗设备也开始涉足TFT-LCD和太阳能电池行业。

华林伟业做湿法清洗的专家


  多年稳定的团队协作是华林伟业取得成功的有力保障。作为一家民营企业,建立之初未曾得到国家一分扶助基金,也曾遇到资金周转困难、技术工艺落后等问题。徐竹林表示,公司发展初期踏实务实的作风和立足于清洗设备的目标,获得一些业内专家的青睐,其中包括来自Intel的3位专家和北大微电子系的教授,正是这些技术顾问组成的核心团队,为公司的进一步发展奠定了坚实的基础
,加之有效的管理手段,也使得公司比预期早一半时间步入正常运转。目前华林伟业有员工70多人,专家顾问团也达11人之多。

  徐竹林指出,清洗行业随半导体产业的发展而发展,在中国,半导体企业亟须解决短期利益和长远目标的矛盾。捆绑本地市场需求能够实现企业一定规模的积累,但也容易捆住企业手脚。本土企业短期立足国内需求与长期通吃全球市场,究竟如何平衡如何取舍?华林伟业给出的答案是:技术开发要高,但市场立足要低——开发世界级平台与本地市场联动。

  据徐竹林介绍,目前华林伟业在国内8寸以下硅片湿法清洗设备占据50%的市场份额,在设备研发制造中,追求不断创新的能力使得公司在国内同业者竞争中走差异化道路。他介绍说,在硅片腐蚀机系统中,化学药液的反应容易产生H2,在CD线条拐角处对线宽造成较大的影响,导致成品率降低;而华林设备在腐蚀工艺过程中加入抽真空系统,把产生的杂质气体抽出工作腔体,从而避免了该问题。“07年5月,华林伟业生产的6寸单片清洗机在上海及成都成功运行,8寸全自动硅片去胶清洗机成功交付江苏集成电路IC生产线使用,填补了8寸以上国产清洗设备的空白。”同时,徐竹林也介绍,涉入TFT-LCD和太阳能光伏领域是市场多元化发展的需要,也是产品多元化发展的需要。未来5-10年,中国内地对半导体及液晶产品投资巨大,势必对相关专用设备有着极大的需求。

  徐竹林表示,作为本土半导体设备业者,虽然起步较晚,但华林伟业追求的是做大做好做精的目标。公司专注于湿法清洗腐蚀设备的研发制造,公司希望在这个专一产品线上做出成就,能为国产半导体设备实现一定的突破。目前,华林伟业已经开发出12寸硅片去胶机,并已投入实验室研发使用,这仅仅只是一台手动控制清洗设备。公司正在加紧研制更加全面的半导体自动控制清洗设备。计划明年将产品销售亮点定位于12英寸晶圆清洗设备市场,以此扩大高端市场占有率,服务于更多半导体的企业。徐竹林表示,“在未来2-3年,华林计划研发出太阳能电池清洗的高端设备、液晶清洗设备,希望借此可以打破国外垄断。”

  Smart公司是韩国领先半导体设备、液晶设备、化学药品的生产商,拥有强大的技术队伍和专业人才。徐竹林介绍说,华林经过与韩国smart公司的多次成功合作,现双方已签订合资意向书。在组建新的公司管理问题上双方将拿出各自最擅长的优势资源,smart公司将负责新的华林伟业公司的技术、生产,华林将负责管理及销售工作。华林计划在08年上半年努力提升半导体设备制造在国际市场的知名度,于下半年打入亚洲市场,两年后打入欧美市场。

  徐竹林指出,“芯片设计制造是没有国界的,半导体清洗更是一个全球化的行业。举步不前就意味着后退。国产设备需要做大做精,而不在于追求全面,我们将专注于湿法清洗腐蚀设备的研发和制造。”



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