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本设备可用于半导体工艺中对2″- 8″硅片进行显影和定影，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。整台设备材料均为进口。本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可独立同时完成相应的工序。本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。工作区洁净度：100级。