本设备为浸泡式清洗机,用于扩散、外延等设备的石英管,碳化硅管的清洗⑴ 整台设备采用德国磁白色聚丙板(PP)搭配德国焊接设备焊接而成。 ⑵ 设备分为两个清洗槽,内槽为酸洗槽,外槽为水洗槽,内外槽均装在隔 离槽内,与底部和周围隔离。⑶ 隔离槽底部倾斜式,最低处设有排水管,隔离槽后设有排气装置。⑷清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷枪和氮气喷枪。