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单硅(芯)片清洗机是一种先进的划片后清洗设备。
该产品主要用于清除切割道里面的废屑,是划片后的重要工序。
一、主要技术特点:
1.可靠的控制系统
2.触摸屏显示 
3.可设置和存储工艺菜单
4.高压去离子水泵
5.体积小
6.喷头H轴Y轴调节
7.在线电阻率检测水质
8.清洗后高纯氮气吹干过程
9.内置真空发生器(吸附)
10.自动排水装置
11.对硅片定位框架的安全锁定
12.二氧化碳防静电装置(可选)
13.兆声波发生器(可选)
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