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简介
液晶脱膜生产线
1.该线主要应用于CSTN-LCD示范生产线中,对经过刻蚀后的玻璃基板进行去除残留光刻胶的工艺加工。
2.
工作原理
在一定温度下用高浓度碱液做脱膜液,喷淋并用滚刷擦洗玻璃基板,以保证将残胶去除净,然后用高纯水冲洗玻璃上的残留碱液同时冲洗残胶,再用气刀风干、远红外加热进行干燥,最后经过冷却,使ITO玻璃基板上形成与光刻掩膜版图形完全一致的ITO图形。
3.主要技术要求:
(1)处理对象:STN液晶用玻璃基板
(2)处理目的:光刻胶玻璃
(3)运送方式:水平单片传送
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