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简介


 
1.清洗对象:太阳能清洗材料主要包括单晶硅和多晶硅
单晶硅:1)硅料
        2)2~6英寸的硅研磨片
多晶硅:1)硅料
        2)125mm×125mm 、156mm×156mm 、210mm×210mm的硅片,适用于投产厚度为160±30~200±30微米的硅片
2.清洗步骤
硅料腐蚀清洗,硅片清洗(硅片研磨、切割后的清洗),清洗制绒设备(扩散前的清洗),HF腐蚀设备(刻蚀后的清洗)
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