1.用化学药液或DI水自动清洗经过扩散或CVD处理的石英管.
2.在蚀刻或清洗过程中祛除不规则的物质.
3.加入DI水一达到快速清洗的效果.
4.化学清洗液可根据清洗物选择.
被清洗物:石英炉管和其他石英制品
机体材质:进口PVC板
处理槽材质:PVDF和PP板
使用药液:HF,HNO3,HCL,
